【課題】 回転翼を高速で回転させ、ポンプ翼径を大型化させることなく、大流量・低圧化に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ長期的使用に対し有利なターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】 軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼７０、２４と固定翼７１、２８とを交互に配置する排気部５０と、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え、回転翼が、前記吸い込んだ気体を前記軸方向に排気する１段以上のタービン翼７０と、タービン翼の後流側に位置し、前記排気された気体をさらに遠心ドラッグ作用により排気する１段以上の遠心翼２４を含んで構成され、遠心翼が、該遠心翼を貫通する回転軸２１に固定され、タービン翼が、回転軸の吸気部側端面１５に固定されるターボ型真空ポンプ１とする。 （もっと読む）

【課題】配線溝等の凹部が形成された基板に電解めっき銅膜を形成した後、熱処理による銅の再結晶や歪みの緩和等の効果が大きく、歪により、銅、下地のバリア膜、Ｌｏｗ−ｋ材等の絶縁材の相互間に剥離が生じないめっき膜形成方法を提供すること。
【解決手段】配線溝等の凹部が形成された基板にめっき工程によりめっき膜を形成するめっき膜形成方法であって、前記めっき工程に先んじて、前記基板の最表面をめっき抑制剤で覆うめっき抑制剤付着工程を行うことを特徴とする。このように基板の最表面をめっき抑制剤で覆う処理をめっきの前処理として基板に対して行なうことによって、基板に形成された配線用溝（トレンチ）やビアホール等の凹部内面に選択的にめっきが行なわれるため、適切な時点でめっきを終了した場合には基板全体に渡って平坦性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで安価な構成で酸素の有効利用効率を高めるとともに、生態系への影響を最小限にすることができる酸素溶解システムを提供する。
【解決手段】 酸素溶解システムは、溶存酸素量を改善すべき溶存酸素量改善水域Ｐに酸素気体を溶解させた水を供給する。酸素溶解システムは、溶存酸素量の少ない低濃度溶存酸素水Ｗ_Ｌを取水する吸込管１０と、吸込管１０内の水に酸素を注入する酸素注入部１２と、大気圧下での飽和溶存酸素量以上に酸素を溶解させた高濃度溶存酸素水Ｗ_Ｈを生成する減圧部１６と、高濃度溶存酸素水Ｗ_Ｈを放出する吐出管１８と、高濃度溶存酸素水Ｗ_Ｈを低濃度溶存酸素水Ｗ_Ｌと混合させて中濃度溶存酸素水Ｗ_Ｍを生成し、該中濃度溶存酸素水Ｗ_Ｍを溶存酸素量改善水域Ｐに放出する混合放出管２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 複数のチャンネル構造が存在し、電気浸透流が安定的に制御されるべきマイクロチップ、特にDGGE用マイクロチップのチャンネル内壁のコーティング方法等を提供する。
【手段】 本発明は、少なくとも２つのマイクロチャンネルを用いて生体分子を分離する電気泳動用マイクロチップにおいて、前記少なくとも２つのマイクロチャンネルの内壁にコーティングを施す方法であって、電気泳動が行われる前に、前記少なくとも２つのマイクロチャンネルの内壁を少なくとも１種のポリマーで均一にコーティングする工程を含むことを特徴とするコーティング方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 部品の摩耗が極めて少なく、また軸封装置への水の供給が不要である安価なポンプを提供する。
【解決手段】 ポンプ１０は、モータに連結された回転軸１６と、回転軸１６に取り付けられた羽根車１３と、羽根車１３を収容したケーシング１１，１２，１４と、羽根車１３の回転により昇圧された液体がケーシング１４の外部に流れ出すことを防止する減圧羽根車１８と、軸封装置２０とを備えている。軸封装置２０は、回転軸１６とケーシング１４との間をシールするシール機構３０と、回転軸１６の回転による遠心力の作用によりシール機構３０によるシールを解除するシール解除機構４０とを有している。 （もっと読む）

【課題】 余分なコストを掛けることなく、しかも信頼性の高い空運転防止機能を有する給水装置を提供する。
【解決手段】 この給水装置は、ポンプ１０と、ポンプ１０の駆動モータを可変速制御するインバータ１４とを有する。さらに、ポンプの回転数および駆動電流値からポンプの空運転状態を検出する第１の空運転検出手段３４，３６，３８，４０と、ポンプの回転数、吐出し側の圧力および水量からポンプの空運転状態を検出する第２の空運転検出手段３４，４２，４４，４６を備えている。 （もっと読む）

【課題】導電性ダイアモンド膜で被覆されたダイアモンド電極は電気化学的電位窓が広いので水処理などの広い分野での応用が期待されているが、ダイアモンドは基板に較べて熱膨張率が著しく小さいためダイアモンド膜に過大な熱応力が残留すること、膜と基板の確実な接着力が得難いこと、大型電極では良質な膜を均質に被覆し難いことなどの原因で、ダイアモンド膜の剥離損耗がダイアモンド電極の一課題であった。
【解決手段】低圧気相合成法などで基板上にダイアモンド膜を被覆した後に、該ダイアモンド膜を基板から一旦分離して導電性接着剤で別個の電極板に貼着することによって、熱応力は除去され、基板と電極板が独立してそれぞれ最適材料の選択が可能になり、大面積でも良質均質な被覆が可能になるなどで、ダイアモンド膜の接着が強固確実となり膜の剥離損耗を軽減できる。また本法によれば、小面積のダイアモンド膜を利用できるので大型電極でも高価な製造設備を必要としない。 （もっと読む）

【課題】トップリング（ウエハ保持機構）に保持されたウエハが離脱してプッシャー機構（ウエハ受渡機構）に着座するまでのウエハ受渡工程の所要時間を短縮できるウエハ受渡装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷを保持するトップリング６０と、トップリング６０との間でウエハＷの受け渡しを行うプッシャー機構１０とを備えたウエハ受渡装置において、プッシャー機構１０は、ウエハＷを載置するウエハトレイ４０を備え、トップリング１０の下端面から離脱したウエハＷがウエハトレイ４０に着座するように構成し、プッシャー機構１０に、ウエハＷがウエハトレイ４０に適正に着座したことを検知するセンサ機構５０を備えた。センサ機構５０は、投光装置５１から投光されたセンサ光が、ウエハトレイ４０に着座したウエハＷによって遮断されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】２台以上の排熱発生機器と１台以上の排熱利用機器とを排熱搬送経路で接続した排熱利用システムにおいて、排熱発生機器の主機能に支障を来たすことなく排熱発生機器からの排熱を効率よく取得し、排熱利用機器に供給できる排熱利用システム及びその運転方法を提供する。
【解決手段】複数の排熱発生機器からなる排熱発生機器群１と、複数の排熱利用機器からなる排熱利用機器群２と、排熱発生機器群１と排熱利用機器群２を接続する排熱搬送経路３と、制御装置を備えた排熱利用システムであって、制御装置により排熱発生機器の主機能に支障を来たすことなく排熱発生機器からの排熱を効率よく取得し、排熱利用機器に供給できるように、排熱発生機器の排熱取得台数、排熱取得開始順序等を制御する。 （もっと読む）

【課題】 海水のような腐食性溶液を揚水するポンプの呼び水に使用した場合にも、キャビテーションによる騒音の発生や耐久性の低下が生じず、高い吸気能力を維持することができるコンパクトな真空発生装置を提供する。
【解決手段】 真空発生装置１は、循環液を加圧する循環ポンプ２と、循環ポンプ２により加圧された循環液を駆動源として吸気口から気体を吸い込んで気泡混合液を吐出する水エジェクタ３と、サイクロン型エアセパレータ４とを備えている。サイクロン型エアセパレータ４は、気泡混合液を容器４３内に導入する導入口４４と、旋回流Ｆにより該気泡混合液から分離された気体を排出する排気管５０と、気体が分離された循環液を排出する排液口４５とを備えている。また、真空発生装置１は、水エジェクタ３とサイクロン型エアセパレータ４とを連通する配管５と、サイクロン型エアセパレータ４と循環ポンプ２とを連通する配管６とを備えている。 （もっと読む）