【課題】 半導体装置を検査する感度及び速度を向上させること。
【解決手段】 半導体装置Ｓは、第１の層に所定の間隔で行方向に配列された複数の第１の配線１、２、３、６、７、８を含む一対の行配線を備え、第１の配線の端部を、ビア１３を介して、第２の層に所定間隔で配列された第２の配線４、５、９、１０に接続した構造を有し、第１の配線と第２の配線とは同電位である。一対の行配線のうち、一方の行配線において右端に位置する第１の配線は第１の導電部１５と接続され、他方の行配線において左端に位置する第１の配線は第２の導電部１４と接続される。第１の導電部１５と第２の導電部１４を順に電子ビームでスキャンすることにより、これら導電部の電位の差に起因する二次電子放出量の変化を検出し、電気的異常を検出する。 （もっと読む）

【解決課題】海水中から有用金属を捕集した金属捕集材から、できるだけ少ない廃棄物発生量で、捕集された有用金属や有害金属を効率的に分離回収する方法及び装置を提供する。
【解決手段】目的金属及び他の金属を吸着させた金属捕集材に溶離液を接触させる金属捕集材溶離槽１；金属捕集材溶離槽１に第１溶離液を供給する第1溶離液供給機構３；金属捕集材溶離槽１から第１工程溶離済み液を受け取る第１工程溶離済み液貯留槽５；金属捕集材溶離槽１に第2溶離液を供給する第２溶離液供給機構４：金属捕集材溶離槽１から第２工程溶離済み液を受け取る第２工程溶離済み液貯留槽６：第２工程溶離済み液を金属再吸着材料と接触させる金属再吸着材料槽２；金属再吸着材料槽２から溶離済み液を受け取る第３工程再吸着済み廃液貯留槽７を含む金属の溶離回収装置。 （もっと読む）

【課題】 ダミーウエハ等を使用することなく、研磨面の状態を研磨に最適な状態に調整して研磨処理を再開できるようにして、ダミーウエハ等にかかるコストを削減できるようにする。
【解決手段】 研磨休止時に待機運転を行い、待機運転終了後に、研磨面に研磨液を供給しながら該研磨面をドレッシングする研磨準備処理を行い、研磨準備処理終了後に被研磨物に対する研磨処理を開始する。待機運転終了後に研磨準備処理を行うか否かを、待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に決定してもよい。 （もっと読む）

本発明は基板の洗浄面に洗浄部材を接触させると共に洗浄液を供給し両者の相対的運動により、該洗浄面を洗浄する基板洗浄装置の洗浄部材に係る。洗浄部材は、防水性のコア部を具備し、該コア部の表面を多孔質高分子素材で被覆した被覆層を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 種々の外乱要因に備えて適切な処置を講じることで、安定かつ効率の良い処理を行うことができるような放電処理システムを提供する。
【解決手段】 この放電処理システムは、被処理液中に配置された電極部４ａ，４ｂ，４ｃと、この電極部に給電する給電部６ａ，６ｂ，６ｃとを有する放電ユニット２ａ，２ｂ，２ｃを用いるものである。放電ユニットは複数台設置され、複数台の放電ユニットの少なくとも１台が停止した場合に、残りの放電ユニットによって不足する放電エネルギーを補うようにする。 （もっと読む）

【課題】設備管理者以外の者が直流電力系統を勝手に切り離すことができないようにすると共に、中継箱からのケーブルがコネクタから外されない状態で覆蓋を移動した場合でもケーブルの切断、破損という事故が発生することなく、より安全に保守・点検作業が行える太陽光発電設備を提供すること。
【解決手段】複数の移動式覆蓋上に設置された太陽電池モジュール２０を直列に接続した太陽電池アレイ（２１−１、２１−２）と、直流電力系統と、インバータ２３を備えた太陽光発電設備において、複数の移動式覆蓋は上下に重なり合う上側覆蓋１２と下側覆蓋１１を具備し、上側覆蓋１２に切断器１７と、コネクタ１６を備えると共に、開閉扉を備えた中継箱１５を設置し、中継箱１５の扉を開閉するための鍵を備え、該鍵により中継箱１５の扉を開けないと切断器１７の開閉及びコネクタ１６の着脱ができない構造。 （もっと読む）

【課題】特に大面積で、表面に薄く電気抵抗が大きな導電層が形成された基板であっても、この表面に、膜厚の面内均一性の高いめっき膜を形成できるようにする。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持部と、基板Ｗと接触して基板の表面に通電させる第１の電極８８と、基板保持部で保持した基板Ｗの表面に対面する位置に配置される第２の電極９８と、基板保持部で保持した基板Ｗと第２の電極９８との間に配置される圧力損失が５００ｋＰａ以上または見掛気孔率が１９％以下の多孔質構造体１１０と、基板保持部で保持した基板Ｗと第２の電極９８との間に電解液を注入する電解液注入部１０４と、第１の電極８８と第２の電極９８との間に電圧を印加する電源１１４を有する。 （もっと読む）

【課題】高濃度の有機物、リン及び窒素を含有する廃水から、リン酸マグネシウムアンモニウム結晶として除去するＭＡＰ処理法の、薬剤の使用量を低減するとともに、窒素及びリンの除去効率を大幅に改善する方法及び装置を提供する。
【解決手段】有機性排水を生物反応槽で処理し、その生物反応槽において発生した汚泥を嫌気性醗酵工程に導入し、嫌気性醗酵工程の途中または終了後生成した消化汚泥中のリン及び窒素を、リン酸マグネシウムアンモニウムの形態にして系外に取り出す工程（１）を組み入れている処理方法において、前記工程（１）の後にリン及び窒素を含有する該消化汚泥を減圧処理する減圧処理工程（２）を組み込み、前記工程（２）を経た消化汚泥を前記嫌気性醗酵工程に戻すことを特徴とする有機性排水の処理方法、及びその装置。 （もっと読む）

【課題】水位が変動してもロータを粉粒体を注入するのに適正な水深に維持でき、効率よく粉粒体の注入ができる粉粒体注入機構を備えた粉粒体注入装置、該粉粒体注入装置を利用した粉粒体移送装置、及び該粉粒体移送装置を備えた水処理設備を提供すること。
【解決手段】水中に配置したロータ１３２を回転させることにより、水の旋回流を発生させ、シャフト１３１の外周を取り囲むように配置したステータチューブ１３３に設けた吸込口１３５から粉粒体と気体の混合流体を吸込み、該混合流体を水中に注入するように構成された粉粒体注入機構１０４を備えた粉粒体注入装置であって、粉粒体注入機構１０４を支持する可動架台１５０に浮力体１６０を取り付け、浮力体１６０によりロータ１３２及びステータ１３４が水位ＷＬの変動にかかわらず常に所定の水深に位置するようにした。 （もっと読む）

【課題】 プロセスの反応条件に拘わらず、真空ポンプの過負荷を起こすことなくプロセス容器の圧力を短時間で目標圧力に到達させることができる圧力制御を行う真空排気装置を提供する。
【解決手段】プロセスガスＧ１を導入しプロセス反応を行うプロセス容器２１のガスＧ２を排出し、プロセス容器の圧力を真空にする真空ポンプ４、５と、真空ポンプの回転速度を調整し、前記プロセス反応時のプロセス容器の圧力状態が前記プロセス反応に適した圧力状態になるよう制御する第１の制御を行う制御手段６とを備え、制御手段が、前記プロセス反応のプロセス情報に基づいて、真空ポンプの所定の回転速度を算出し、前記第１の制御の前に、真空ポンプを前記所定の回転速度にする第２の制御を行う真空排気装置２とする。 （もっと読む）