【課題】地震や津波などの災害によりダメージを受けた場合に、迅速に応急運転を行うことができるポンプシステムを提供する。
【解決手段】ポンプシステムは、水を移送するためのポンプ１０と、ポンプ１０を駆動する駆動源１５と、ベルト駆動用のプーリユニット４０を備える。プーリユニット４０は、プーリ４１と、プーリ４１を支持する支持軸４２と、支持軸４２を回転自在に支持するラジアル軸受４３とを有し、駆動源１５は支持軸４２を介してポンプ１０に連結されている。プーリユニット４０は、支持軸４２を介して駆動源１５の駆動力をポンプ１０に伝達し、さらに駆動源１５とは別に用意される応急運転用のモータ５０の駆動力をプーリ４１を介してポンプ１０に伝達する。 （もっと読む）

【課題】基板端部の過研磨を効果的に抑制して、基板端部の研磨速度の精密な制御ができるようにする。
【解決手段】基板保持装置に用いられる弾性膜４であって、弾性膜４は、基板に当接して該基板を研磨パッドに向けて押圧する当接部４００を有し、当接部４００の下面は、平坦な平坦領域Ａと該平坦領域の外周部に位置して上方に立上る立上り領域Ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】基板との当接面を有する当接部自体の該当接面に沿った変形（伸び）を、当接部の中心部から外周部のほぼ全域に亘って均一に抑制できるようにする。
【解決手段】基板Ｗの外周部にリテーナリング３を位置させて基板Ｗを保持する基板保持装置１に用いられる弾性膜４であって、基板Ｗと当接する当接面４２ａを有する当接部４２と、当接部４２の外周端に連接されて上方に延びる第１周壁部４４と、第１周壁部４４の内側で当接部４２に連接されて上方に延び、外側に第１圧力室５が、内側に第２圧力室７がそれぞれ形成される第２周壁部４６とを備え、当接部４２は、そのほぼ全域に亘って、弾性膜４より剛性の高い補強部材５０により補強されている。 （もっと読む）

【課題】吐出容量の大きな加圧送水ユニットであっても、ベースを大型化することなく、大型のポンプや駆動モータ、制御盤をベース上に安定的に設置し、狭い設置スペースに簡易な作業で据え付けることができるようにする。
【解決手段】ユニット１のベース２を、ポンプ３、駆動モータ４など構成機器が設置される主体ベース２１と、制御盤５のみが設置される補助ベース２２に分割して形成するともに、両ベース２１、２２を並設した状態で互いの側端部同士を継ぎ合わせて一体に連結できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】床下に配置（敷設）する排水用配管が不要で、施工性がよく、レイアウトの自由度が高く、漏水の可能性が低く、排水管路の状態を容易に目視確認できる真空吸引による工場排水収集装置及び工場排水収集方法を提供すること。
【解決手段】バッファタンク１１と、隣接して配設された真空吸引装置タンク１２と、真空吸引装置１４とからなる真空吸引ユニットと、配管状態を目視で確認できる場所に設置された真空配管２と、集水タンクを備えた真空ステーション３と、を備え、ＣＩＰ洗浄により発生する排水をバッファタンク１１に収集し、所定流量ずつ真空吸引装置タンク１２に移送し、真空吸引装置タンク１２内の排水を真空吸引装置１４により真空配管２に移送し、真空配管２を通して真空ステーション３の集水タンクに移送し、真空ステーション３から排水処理場に移送する。 （もっと読む）

【課題】基板の研磨中にシリコン層の正確な厚さを取得し、得られたシリコン層の厚さに基づいて基板の研磨終点を正確に決定することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】本研磨方法は、基板から反射した赤外線の強度を所定の基準強度で割って相対反射率を算出し、相対反射率と赤外線の波長との関係を示す分光波形を生成し、分光波形にフーリエ変換処理を行なって、シリコン層の厚さおよび対応する周波数成分の強度を決定し、上記決定された周波数成分の強度が所定のしきい値よりも高い場合には、上記決定されたシリコン層の厚さを信頼性の高い測定値と認定し、該信頼性の高い測定値が所定の目標値に達した時点に基づいて、基板の研磨終点を決定する。 （もっと読む）

【課題】研磨対象膜の下層の金属材料の影響を排除し、渦電流センサを用いて、基板表面内の各領域での膜厚情報を取得することができ、得られた膜厚情報から基板の研磨終点を決定する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、基板の研磨中に渦電流センサを基板の表面を横切るように移動させ、渦電流センサのインピーダンスの抵抗成分Ｘおよび誘導リアクタンス成分Ｙからなる座標Ｘ，ＹをＸ−Ｙ座標系上にプロットし、Ｘ−Ｙ座標系上に定義された複数のインピーダンスエリアにそれぞれ属する複数の座標Ｘ，Ｙを用いて、複数のインピーダンスエリアごとに複数の膜厚指標値を算出し、複数の膜厚指標値を用いて複数のインピーダンスエリアごとに基板の研磨終点を決定する。 （もっと読む）

【課題】高温気体の送風においても振動を生じることのない高温気体の送風に好適な送風機の羽根車及び送風機を提供すること。
【解決手段】円柱状の回転軸１１と、回転軸１１に取り付けられたボス１２と、ボス１２に固定されボス１２の外周に放射状に延びる複数枚の翼１３とを備え、ボス１２はボス１２と回転軸１１の間に円周方向に等配した３個以上のキー１５で固定した。これにより常温から数百度の高温に至る気体を送風する際に回転軸１１とボス１２の温度差により回転軸１１とボス１２の間に発生する隙間による振動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いバッチ処理方式を採用し、しかも前の処理等で使用した水分の持込みを極力低減させて、一連の連続した各処理を、より均一に安定して行うことができるようにする。
【解決手段】複数枚の基板を鉛直方向に平行に保持して搬送し、搬送の前後で異なる処理槽内の処理液中に複数枚の基板を同時に浸漬させる基板ホルダを有する無電解めっき装置において、基板ホルダは、基板の外周部を位置させて基板を支持する複数の支持溝１３０を有する支持棒９４ａと、支持溝１３０の内部乃至その周辺に溜まる水分を除去する水分除去機構１３６ａを有する。 （もっと読む）