【課題】めっき液の使用量を極力少なく抑えつつ、めっき液の各成分の濃度を長時間に亘って一定に保って、基板の表面により均一な膜厚のめっき膜を安定して形成できるようにする。
【解決手段】カソードとした基板Ｗの表面と不溶解性アノード９８との間にめっき液を満たして該表面に電解めっきを行うめっきセル１２と、めっき液をめっきセル１２に供給し回収して循環させるめっき液循環系１３６と、めっき液に含まれる成分をめっき液よりも高い濃度で含む補給液を、めっき液循環系１３６内を循環するめっき液に補給してめっき液の成分の濃度を一定範囲内に維持するめっき液成分補給系１３８を有する。 （もっと読む）

【課題】還元性ガス利用水蒸気電解による水素製造プロセスにおいて、プロセスの高効率化を図るために、効果的にSOFCを組み合わせる方法、効果的な還元性ガスの改質方法、水素の製造方法、およびこれらの方法を実施するための装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、固体酸化物電解質隔膜によって電解槽をアノード室とカソードに仕切った高温水蒸気電解装置のカソード室に水蒸気を供給し、アノード室に還元性ガスを供給して、カソード室において水蒸気の電気分解を行うことによって水素を製造する方法において、高温水蒸気電解装置と並行して固体酸化物型燃料電池を運転し、固体酸化物型燃料電池の燃料室から排出される排ガスを高温水蒸気電解装置のアノード室に供給し、固体酸化物型燃料電池によって得られる電力を高温水蒸気電解装置の電力として用いることを特徴とする水素製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】例えばダマシン法により基板上の配線を形成する場合に、基板にダメージを与えることなく、低い圧力で基板の表面を全面にわたって均一に平坦化することができる電解加工装置を提供する。
【解決手段】電解加工装置１０は、表面に金属膜が形成されたウェハを保持しつつ、ウェハを回転させるウェハホルダ１４と、ウェハに対して電解加工を行う電解加工ユニット１６とを備えている。電解加工ユニット１６は、回転可能な加工電極５２と、加工電極５２に取り付けられた研磨パッド５３と、研磨パッド５３をウェハに押圧する押圧機構７２と、電解加工液をウェハと加工電極５２との間に供給する液供給機構と、ウェハと加工電極５２とを相対運動させる相対運動機構と、加工電極５２がカソード、ウェハの金属膜がアノードとなるように、加工電極５２とウェハの金属膜との間に電圧を印加する電源１０３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ダマシーン法による基板上の配線形成において、微細な凹凸を有する基板上の金属膜の表面を低い加工圧力で平坦化することができ、かつ金属膜をその全面に亘って均一な加工速度で加工することができる電解加工方法を提供する。
【解決手段】給電電極３１と加工電極３２とをテーブル１２上に配置し、給電電極３１と加工電極３２の間に絶縁体３６を配置し、金属膜６が給電電極３１および加工電極３２に対向するように基板Ｗを絶縁体３６に接触させ、第１の電解液および第２の電解液を、絶縁体３６により電気的に絶縁させた状態で給電電極３１と基板Ｗとの間、および加工電極３２と基板Ｗとの間にそれぞれ供給し、給電電極３１と加工電極３２との間に電圧を印加し、基板キャリアー１１とテーブル１２を相対運動させて基板Ｗ上の金属膜６の電解加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 めっき液の変質を抑制して、特性及び信頼性を損なうことのないめっき膜を形成することができるようにする。
【解決手段】 めっき液貯槽３０２内のめっき液をめっき槽２００に供給するめっき液供給管３０８とめっき槽２００内のめっき液をめっき液貯槽３０２に戻すめっき液回収管３１０を有するめっき液循環系３５０と、めっき液循環系３５０全体におけるめっき液の液温の低下を抑制する保温部２７２ａ，２７２ｂ，３５２，３５６とを有する。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸を有する基板上の金属膜の表面を低い加工圧力で平坦化することができ、かつ金属膜をその全面に亘って均一な加工速度で加工することができる電解加工装置を提供する。
【解決手段】本発明の電解加工装置は、給電電極３１及び加工電極３２と、基板Ｗを保持する基板キャリアー１１と、給電電極３１と基板Ｗとの間に第１の電解液を供給する第１供給流路５１と、加工電極３２と基板Ｗとの間に第２の電解液を供給する第２供給流路５２と、第１の電解液と第２の電解液とを電気的に絶縁する絶縁体３６と、給電電極３１と加工電極３２と絶縁体３６とが配設されるテーブル１２と、給電電極３１と加工電極３２との間に電圧を印加する電源３３と、絶縁体３６と金属膜６とを接触させた状態で、テーブル１２と基板キャリアー１１とを相対運動させる相対運動機構１７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

【課題】金属核から有機物を脱離させて、金属核を均一に焼結させる温度を大幅に低減させて、はんだによる接合の代替として応用できるようにした複合型ナノ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】無機金属塩と有機物とを共存させ、前記無機金属塩が分解して金属成分からなる中心部が生成され、前記金属成分と有機物が反応して有機金属化合物が生成されることなく、前記中心部の周りを有機物が被覆するように前記金属塩と有機物を所定の温度に加熱し一定時間保持する。 （もっと読む）

【課題】 検出装置の交換作業に伴う時間のロスを削減すること。
【手段】 検査装置は、試料Ｗから放出された電子ビームを受け取って、試料Ｗを表す画像データを取得する複数の検出装置１１、１２と、複数の検出装置１１、１２のうちの一つに電子ビームを入射させるための切り換え機構Ｍとを具備し、複数の検出装置１１、１２が同一の容器ＭＣ内に配置されていることを特徴とする。複数の検出装置１１、１２は、電子ビームを電気信号へ変換する電子センサを備える検出装置と電子ビームを光に変換し、該光を電気信号へ変換する光センサを備える検出装置との任意の組み合わせであり得る。切り換え機構Ｍは、機械的移動機構でも電子ビーム偏向器でもよい。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で異物によるポンプの閉塞事故を効果的に防ぐことができるマンホールポンプ装置を提供する。
【解決手段】汚水流入管２２から流入する汚水中の異物を捕捉するストレーナ２０を設置し、ストレーナ２０はその一端が汚水流入管２２に連通し他端がポンプ３０の吐出部３２に連通しており、さらに汚水流入管２２とストレーナ２０の間に逆止弁２３が設置され、逆止弁２３とストレーナ２０を接続する配管２１に分岐部２５が設けられ、分岐部２５に、ストレーナ２０を通過したポンプ３０の吐出水をマンホール１０外へ送る吐出配管２１を接続したことで、ストレーナ２０ポンプ３０の吐出水を通過させて逆洗し、捕捉した異物を除去するように構成したマンホールポンプ装置１である。 （もっと読む）