【課題】 送液機構に弁や多くのアクチュエータを備えることなく、微量の液体を一方向に向けて精度よく送ることができるようにする。
【解決手段】 液体を順方向に送る流路部１６と流体の逆流を阻止する逆流阻止部１８とを内周面に有し、液体の流路１０を構成するケーシング１２と、ケーシング１２を振動させる加振源１４とを備え、ケーシング１２を振動させて流体を順方向に送るようにした。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰプロセスのやりやすいめっき膜を形成して、次工程のＣＭＰプロセスでの負担を軽減できるようにしためっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持部３６と、基板保持部３６で保持した基板Ｗと接触して通電させるカソード電極８８を備えたカソード部と、基板Ｗの表面に対向する位置に配置されるアノード９８と、基板保持部３６で保持した基板Ｗとアノード９８と間に基板Ｗと接離する方向に移動自在に配置され、該移動方向に沿って直線状に貫通して延びる貫通孔１１２ａを有する接触材１１２を有する。 （もっと読む）

【課題】複合繊維基材に側鎖が導入され、その側鎖がアニオン交換基を有している微生物担体を提供する。
【解決手段】放射線グラフト重合により複合繊維基材に側鎖が導入された複合繊維を含む微生物担体であって、該側鎖にアニオン交換基を有する。また、本発明は、芯鞘構造を有する複合繊維を含む複合繊維基材に放射線を照射する工程と、該基材に重合性モノマーを含浸させる工程と、該モノマーを該基材にグラフト重合させる工程とを含む微生物担体の製造方法。
【効果】本発明の微生物担体を使用すれば、複合繊維基材が有する利点を維持しつつ、より多量の微生物を効率的に担持することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 水処理としての分離性能及びメンテナンス性を高め、分離膜を用いた効率的なろ過ができる水処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】 分離膜３によるろ過によって水処理を行う方法であって、該分離膜３が親水性を付与した塩化ビニル系樹脂及び／又は塩素化ポリエチレンから作製され、該分離膜の被処理水中又は膜透過水中の膜表面汚染防止剤の濃度を微生物の繁殖を防止できる範囲内にしながらろ過することとしたものであり、前記分離膜は、操作圧力が０.１ＭＰａのときの純水透水流束が５ｍ^３／ｍ^２／日（水温２５℃）以上の透過性をもつのがよく、前記分離膜は、塩化ビニル系樹脂又は塩素化ポリエチレンに親水基を有する化合物を添加して反応させることによって得た親水性を付与した材料から作製することができ、また、前記分離膜は、中空糸膜であり、中空繊維１本あたりの引張り破断強度が３.５Ｎ以上であるのがよい。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に形成された配線溝やコンタクトホール等の凹部を金属めっきで埋め込む際にボイドの発生を回避でき、且つ生産効率を低下させることのない基板処理装置及び基板処理方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板にめっき抑制物質が溶解した液体を塗布する液体塗布部と、該液体塗布部で前記処理基板に塗布された液体を乾燥させる基板乾燥部と、該基板乾燥部で乾燥処理された被処理基板にめっき処理を施すめっき処理部を備えた基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマトーチにおけるコリメータの損耗を抑制し、耐久性を向上させることができるプラズマ式溶融炉を提供する。
【解決手段】プラズマ式溶融炉は、炉本体と、焼却灰と焼却飛灰のうち少なくとも一方を炉本体の内部に供給する灰供給装置と、炉本体の内部でプラズマを発生させるためのプラズマトーチ２０と、プラズマトーチ２０に電力を供給する電源とを備えている。プラズマトーチ２０は、表面に被膜が形成されたコリメータ５４を有している。 （もっと読む）

【課題】停電等の場合でもガスタービン本体の出力の一部を動力として駆動されるパッケージ内換気用ファンのみでパッケージ内の換気を有効に行うことができるパッケージ型のガスタービン装置を提供する。
【解決手段】ガスタービン本体１２をパッケージ１１内に収納し、パッケージ１１にパッケージ１１への給気用と排気用の一対のパッケージ内換気用ダクト１７，１８を接続し、ガスタービン本体１２の出力の一部を動力として駆動するパッケージ内換気用油圧ファン１６と外部電源によって駆動するパッケージ内換気用別置電動ファン１９とによってパッケージ１１内の空気をパッケージ内換気用ダクト１７，１８を介して換気するガスタービン装置１−１である。無停電電源２３にて開閉するダンパ１０ａ，１０ｂを、パッケージ内換気用ダクト１７，１８から分岐してパッケージ１１内の空気を換気する位置に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 高圧流体を送出する配管ラインにおいて、減圧オリフィスやバルブを用いて減圧することで生じていたエネルギーの損失を防止し、高圧流体の有するエネルギーを有効に利用できる配管ラインを提供する。
【解決手段】 高圧流体を送出する配管ラインにおいて、前記配管ラインの途中に回転数制御機能を備えたタービン発電機１４を配置した。配管ラインの途中に配置されたタービン発電機１４は、エネルギー回収型の可変開度調整弁として機能する。そして、配管ラインに、タービン発電機１４に並行して、バイパスライン１８と、該バイパスラインを開閉するバイパスバルブ１７とを配置した。 （もっと読む）

【課題】 周囲の環境条件が変化して運転状態が変化しても高い発電効率を得ることができる発電装置を提供すること。
【解決手段】 加熱媒体Ｈとの熱交換により作動媒体Ｍを蒸発させる蒸気発生器１０と、蒸気発生器１０で蒸発した作動媒体Ｍを膨張させ、動翼を介して機械的動力を得る膨張機２０と、冷却媒体Ｃとの熱交換により膨張機２０で膨張した作動媒体Ｍを凝縮させる凝縮器４０と、膨張機２０で得られた機械的動力により駆動されて発電する発電機３０と、前記動翼の周速度の、作動媒体Ｍの膨張機２０における熱落差から求まる理論速度に対する比が所定の値になるように前記動翼の回転速度を制御する制御装置６０とを備える発電装置１とすると、周囲の環境条件が変動してもこれに追従して膨張機を高効率運転点で運転することが可能となり、高い発電効率を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】水路に流入する塵芥量が計画値以上に多い場合や機械式の除塵装置が故障した場合でも塵芥によるスクリーンの開口部が閉塞され、ポンプ設備への水の流入が阻害されたり、内水位の上昇により浸水被害が発生するということのない水路の除塵装置及び排水設備を提供すること。
【解決手段】水路１００に設置した固定スクリーン２０１と該固定スクリーン２０１に連続して配置されたエプロン２０２を備えると共に、該スクリーン面と該エプロン面をレーキ２０４が移動し、該固定スクリーン２０１で捕集された塵芥類を除去する除塵機構を備えた除塵装置２００において、固定スクリーン２０１部分又はエプロン２０２部分に該固定スクリーンの上端を越えた水が通る開口部２１０を設けるか又は開口部２１０を設け該開口部２１０に固定スクリーン２０１より粗い目の粗目スクリーンを設けた。 （もっと読む）