【課題】半導体ウエハ、チップに工程数が増加し、プロセスが煩雑化するような特別な処理を施すことなく、得られる半導体装置にゲッタリング機能を付与する。
【解決手段】チップ用樹脂膜形成用組成物は、金属化合物の表面を有機化合物により修飾してなるゲッタリング剤（Ａ）および硬化性成分（Ｂ）を含む。 （もっと読む）

【課題】優れた粘着力を有すると共に、貼り付け後に剥離のきっかけが作り難いため容易に剥がすことができず、たとえ剥がされた場合でも、剥がされた事実を容易に発見できるため剥がされた事実の隠滅を防止できる、改ざん防止用ラベルを提供する。
【解決手段】基材と粘着剤層とを有する改ざん防止用ラベルであって、前記基材の厚みが０．５〜５．０μｍであり、前記粘着剤層の厚みが０．７〜９．０μｍであり、改ざん防止用ラベルの厚みが１．２〜１２．０μｍである、改ざん防止用ラベル。 （もっと読む）

【課題】
十分に高い粘着力を発現することができると共に、貼付時や剥離時に発生しやすい支持体の破れを抑制し得る、薄膜化された両面粘着シートを提供する。
【解決手段】支持体の両面に粘着剤層が設けられてなる両面粘着シートであって、前記支持体の厚みが１．０〜６．０μｍであり、少なくとも片面の粘着剤層の厚みが０．５〜５．０μｍであり、支持体と支持体の両面に設けられた粘着剤層で構成された両面粘着シートとしての総厚みが２．０〜１６．０μｍであり、該両面粘着シートの破断強度が３０〜２８０ＭＰａである、両面粘着シート。 （もっと読む）

【課題】ウエハ表面の段差にかかる研削応力を分散させ、ウエハにおけるディンプルやクラックの発生を抑制することができる粘着シートの基材フィルムを提供する。
【解決手段】（Ａ）厚みが１００〜４００μｍであり、２３℃における貯蔵弾性率が０．２〜６．０ＭＰａである段差吸収層と、（Ｂ）熱可塑性樹脂からなる層とから構成された基材フィルム２２であって、複数のデバイスがストリートによって区画されて形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが表面に形成された該ウエハの表面側を研削装置の保持テーブルにて保持し、該ウエハの裏面のうち該デバイス領域に相当する領域１６を研削して凹部を形成し、該凹部の外周側にリング状補強部１７を形成する裏面研削工程で、該ウエハ表面に貼付される粘着シートに用いられる。 （もっと読む）

【課題】剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａから次期剥離領域（内側領域）Ｓｂに向かって剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、ダイカットローラ３６と、プラテンローラ３７と、これらローラ３６、３７の間隔を維持するベアラ３８とを備え、ベアラ３８により、初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１の深さが次期剥離領域Ｓｂに対応する次期切込ＣＵ２の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】不要シートの剥離や、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取る不要シート巻取手段１６と、接着シートＡＳを初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａから剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。不要シート巻取手段１６は、押え手段４２で接着シートＡＳを押さえ付けた状態で、回動モータＤＭ５によって不要シートＵＳの張力を増大することにより接着シートＡＳと不要シートＵＳとを切り離し可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造工程を短縮することができるとともに、巻圧が加わったとしても、接着シートに押し痕が付くことを防止できる積層シートを製造する積層シート製造装置および積層シート製造方法を提供する。
【解決手段】積層シート製造装置１は、原反Ｒ１を繰り出す繰出手段１０と、原反Ｒ１から剥離シートＲＬを剥離する剥離ローラ２０と、剥離シートＲＬを迂回させる迂回手段３０と、剥離シートＲＬが剥離された原接着シートＳ０に中間層Ｍを供給する中間層供給手段４０と、中間層Ｍを硬化させる定着手段５０と、中間層Ｍが供給された原接着シートＳ０に剥離シートＲＬを仮着して原反Ｒ２を形成する積層手段６０と、原接着シートＳ０に切込ＣＵを形成して接着シートＳを形成し、切込ＣＵの外側に形成される不要シートＳ３と中間層Ｍとで接触防止部材ＣＰを形成する切断手段７０と、接触防止部材ＣＰが形成された積層シートＬを回収する回収手段８０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】繰出方向先端部や後端部に円弧部や直線部を有する接着シートでも、不要シートの剥離や、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに円弧形状を有する切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａから剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、不要シートＵＳにおける初期剥離領域Ｓａの切込ＣＵに連なる位置に短冊状切込Ｓｔを形成して短冊部ＴＳを形成可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】巻取体とされて巻圧が加わったとしても、接着シートに押し痕が付くことを防止できる積層シートを製造する積層シート製造装置および積層シート製造方法を提供する。
【解決手段】積層シート製造装置１は、原反Ｒ１を繰り出す繰出手段１０と、原接着シートＳ０に切込ＣＵを形成して接着シートＳと不要シートＳ３とを形成する切断手段２０と、不要シートＳ３を巻き取る巻取手段３０と、接着シートＳの厚みより大きく、接着シートＳ間の領域を含む帯状の接触防止部材ＣＰを形成する積層手段４０と、形成された接触防止部材ＣＰを定着させて積層シートＬを形成する定着手段５０と、積層シートＬを回収する回収手段６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａから次期剥離領域（内側領域）Ｓｂに向かって剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１の深さが次期剥離領域Ｓｂに対応する次期切込ＣＵ２の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられている。 （もっと読む）