【課題】支持する半導体ウエハＷＦ等の板状部材に凹凸が生じたり、支持不良になることを防止できるようにすること。
【解決手段】支持装置１０は、吸引孔２０が設けられた吸引面１１を備えて半導体ウエハＷＦを支持可能な支持テーブル１２と、吸引面１１と半導体ウエハＷＦとの間に配置されるとともに、面内に貫通孔１３Ａを有する多孔板１３とを備えて構成されている。支持テーブル１２は、多孔板１３を吸引面１１側に接着するために形成される内側第１凹溝１７及び外側第１凹溝１８を備えている。各第１凹溝１７、１８は、接着剤ＡＤを貯留する貯留部３１と、この貯留部３１から溢れ出た接着剤ＡＤを受容可能な受け部３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 常態では十分な粘着力を有し、エネルギー線照射や加熱を必要とせずに、簡便な手段で粘着力を制御可能であり、かつ剥離後の被着体における粘着剤残渣が低減された粘着剤組成物および粘着シートを提供すること。
【解決手段】 本発明に係る感湿粘着力可変性粘着剤組成物は、
粘着性ポリマー１００質量部に対し、ポリアルキレングリコールグリシジルエーテル（メタ）アクリレートを０．０１〜１５質量部含み、
２３℃、５０％ＲＨ環境下に３０分放置した後の、シリコンウエハ鏡面に対する粘着力Ａと、
６０℃、９０％ＲＨ環境下に２時間放置した後の、シリコンウエハ鏡面に対する粘着力Ｂとの比Ｂ／Ａ×１００（％）が３〜７０％の範囲にあることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】基材をなす延伸樹脂フィルムの延伸方向に基づいて異方性を有する特性が制御された粘着シートを製造する手段を提供する。
【解決手段】 粘着シートの基材の原料となる長尺の延伸樹脂フィルムについて、含有される高分子の配向軸の分布が特定されたものを用意し、この長尺の延伸樹脂フィルムを備える長尺のフィルムから矩形の粘着シートの形状に対応した矩形の部材を切り出すにあたり、延伸樹脂フィルムにおける矩形の基材として切り出される矩形の領域の長軸に沿った方向である矩形長軸方向とこの矩形の領域に含有される高分子の配向軸の方向とがなす角度であるシート内高分子配向角度が所定の角度範囲となるように、長尺の延伸樹脂フィルムの長手方向と矩形長軸方向とがなす角度を調整する。 （もっと読む）

【課題】所定時間あたりの処理能力を向上できる接着シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に設けられた第１接着剤層ＡＤ１と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を囲むように設けられた第２接着剤層ＡＤ２とを備え、第１接着剤層ＡＤ１は、複数の被着体ＣＰの被着面ＣＰ１の形状に対応した形状に形成され、当該複数の被着体ＣＰを接着可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】突起状電極（貫通電極）間に粘着剤層の残渣が残留せず、チップを破損せずにダイシングおよびピックアップ可能なダイシングシートを提供する。
【解決手段】基材と、その片面に設けられた中間層２と、中間層の上に設けられた厚みが８〜３０μｍの粘着剤層１とからなり、粘着剤層が、エネルギー線硬化性二重結合を分子内に有する化合物を含有し、粘着剤層の硬化前の２３℃における貯蔵弾性率Ｇ’が中間層の２３℃における貯蔵弾性率Ｇ’の４倍よりも大きく、高さ１５μｍ、直径１５μｍの円柱型電極が４０μｍのピッチで等間隔に３行３列に形成されたウエハに、粘着剤層を介して貼付した場合に、３行３列に形成された円柱型電極の中心の電極において、該電極の高さ７．５μｍ以下の部分に粘着剤層が接触しない構成とする。 （もっと読む）

【課題】優れた粘着性、耐熱性及び凝集性を兼ね備えた粘着剤となり得るポリシルセスキオキサングラフト共重合体、その製造方法、並びに共重合体を用いる粘着剤及び粘着シートの提供。
【解決手段】ポリシルセスキオキサンに式（ａ）


（ｒ^１は、炭素数４〜１２の炭化水素基を表す。）で表される基、及び、式（ｂ）


（式中、ｒ^２、ｒ^３は炭素数１〜６の炭化水素基等を表す。ｒ^２、ｒ^３は一緒になって環を形成していてもよく、該環にはヘテロ原子を含んでいてもよい。）で表される基をモル比で、式（ａ）：（式（ｂ）＝９５：５〜６０：４０となるようグラフト共重合させたポリシルセスキオキサングラフト共重合体。 （もっと読む）

【課題】外縁部に切欠部を有する板状部材を吸引して支持し、その減圧状態から切欠部の位置を認識することのできる支持装置及び支持方法、切欠部を基準として板状部材に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置及び剥離方法、切欠部を基準として板状部材に接着シートを貼付するシート貼付装置及び貼付方法、を提供する。
【解決手段】板状部材ＷＦを支持する支持面１４を備えたテーブル１６と、支持面１４に設けられて板状部材ＷＦの外縁部を吸引する吸引手段１７を含む吸引手段１９と、吸引手段１７の減圧状態を検出する検出手段２２とを含んで支持装置１１が構成されている。この支持装置１１の上方に剥離用テープＰＴを板状部材ＷＦに貼付された接着シートＡＳに貼付するシート保持手段１２を設けてシート剥離装置が構成されている。シート保持手段１２は、板状部材ＷＦに設けられた切欠部２０、２１を基準として、剥離開始位置を決定し、当該剥離開始位置から接着シートを剥離するようになっている。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上できる接着強度測定装置および接着強度測定方法を提供すること。
【解決手段】被着体Ｔの被着面Ｔ１に接着された接着部材Ｗの接着強度を測定する接着強度測定装置１は、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１を被着面Ｔ１に平行な方向であって当該角隅部Ｗ１の基端側に向かう方向に押圧する押圧手段と、押圧による荷重を測定する荷重測定手段と、荷重測定手段で測定された最大荷重を出力する接着強度出力手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】接着剤の消費を抑制できるシート製造装置を提供すること。
【解決手段】シート製造装置は、基材シートＢＳを繰り出す繰出手段１０と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を積層する第１積層手段２０Ａと、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を囲むように第２接着剤層ＡＤ２を積層する第２積層手段２０Ｂとを備え、第１積層手段２０Ａおよび第２積層手段２０Ｂのうちの少なくとも一方は、所定の版２２Ａ，２２Ｂを有する印刷手段２１Ａ，２１Ｂを備え、版２２Ａ，２２Ｂにより接着剤を所定形状に印刷することで各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２を積層する。 （もっと読む）

【課題】高いパワーファクターを実現することが可能な熱電変換素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】その表面にＦＤＴＳ被膜６が形成されたガラス基板２の上層に、真空蒸着法によって膜厚が６ｎｍのペンタセン薄膜３を成膜し、ペンタセン薄膜３の更に上層に真空蒸着法によって膜厚が２ｎｍのＦ_４−ＴＣＮＱ薄膜４を成膜する。更に、Ｆ_４−ＴＣＮＱ薄膜４の上層には取り出し電極として膜厚が５０ｎｍのＡｕ電極５を形成する。 （もっと読む）