【課題】弁体の開閉に衝撃や衝撃音を発生することなく、風路に進入し換気ファンの回転翼に及ぼす逆風圧を効果的に抑制できる流体機械を提供すること。
【解決手段】各案内翼１４は固定案内翼１４ａと可動案内翼１４ｂとを備え、該固定案内翼１４ａは胴体１０に固定され、該可動内翼１４ｂは胴体１２の軸方向に直交する回転軸１６を中心に回動可能になっており、胴体の吐出口から吸込口に流れる逆流体流が流入した場合、発生する流体差圧により可動案内翼１４ｂがその翼面が固定案内翼１４ａの翼面と連続する正規位置である全開位置から全閉位置の方向に回動して逆流体流の方向を転換させ、回転翼１５に当接する逆流体流の圧力を削減させる位置に保持する可動翼開度自動制御機構２４を設けた。 （もっと読む）

【課題】流体流路内に外部から過大な流体流が進入した場合に、簡単な構成で、過回転においても損傷することのない流体機械強度を有し、更に強制的な過回転現象が去った時点で速やかに正規の回転数に復帰する流体機械を提供すること。
【解決手段】流体流路（風路１１）内に配置され、回転翼１５を駆動機（電動モータ１７）で回転させることにより、流体を流体流路の一方向から他方に送る流体機械であって、回転翼１５の回転軸と駆動機の駆動軸の間に駆動機の正回転方向のみの回転力を回転翼の回転軸に伝達する第１機械的一方向クラッチ１６を配置し、駆動機の駆動軸と静止側の間に該駆動軸の正回転方向の回転を許し逆回転方向の回転を阻止する第２機械的一方向クラッチ２６を配置した。 （もっと読む）

【課題】装置全体の設置スペースが小さくて済み、呼水槽、制御盤等を消火ポンプ装置と補助加圧ポンプ装置の両方に設ける必要や、消火ポンプ装置と補助加圧ポンプ装置の設置後、両装置での配線及び配管の必要がない、消火ポンプ装置と補助加圧ポンプ装置を一体化した消火ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ベース１１上に消火ポンプ１４、電動機１５を配置すると共に、消火ポンプ１４の呼水を収容する呼水槽３０と、該呼水槽３０の水を消火ポンプ吐出配管１８に導く呼水配管３６、消火ポンプ逆止弁２０、圧力タンク１２、消火ポンプを運転制御する消火ポンプ制御盤４３をベース１１上に配置した消火ポンプ装置であって、ベース１１上に、消火ポンプ逆止弁２０の２次側に接続した補助加圧ポンプを備えた補助加圧ポンプ装置３２を設け、ベース１１上にある呼水槽３０、及び消火ポンプ制御盤４３の少なくとも１つは補助加圧ポンプと消火ポンプとで共用する。 （もっと読む）

【課題】基板の被洗浄面の半径方向に沿った各位置（領域）における洗浄強度を考慮して、基板の全被洗浄面をより均一な洗浄強度でスクラブ洗浄できるようにする。
【解決手段】ロール状洗浄部材２４の外周面を回転中の基板Ｗの被洗浄面に所定の接触幅で接触させて該被洗浄面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法であって、洗浄部材２４によるスクラブ洗浄中の全過程の少なくとも一部において、洗浄部材２４の軸線Ｏ_５が基板Ｗの回転中心線Ｏ_４から接触幅の０．１４〜０．５倍離れたオフセット洗浄位置に該洗浄部材２４を配置してスクラブ洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】内部に逆流方向及び正流方向に外部から過大な圧力流体が進入する流路に配置された換気ファン等の流体機械が該圧力流体の進入による過回転等で損傷されることなく、該圧力流体が収束すると速やかに流体機械を正規の回転数に復帰させることができる流体機械運転制御装置、及び流体機械運転方法を提供することを目的とする。
【解決手段】風路１１内に配置され、回転翼１５を電動モータ１７で回転させることにより、気流を風路１１の一方から他方に送る換気ファン１０の運転制御を行う流体機械運転制御装置において、速度制御装置３と、通常制御機能を有する換気ファン運転操作制御装置１と、風路１１に許容範囲外の外部圧力流体流が侵入した場合に速度制御装置３に通常制御機能を停止させ、回転体をフリーラン状態にさせる保護制御を指示する保護制御指示機能を有する換気ファン保護制御装置２と、機械式自動逆風圧抑制装置４を備えた。 （もっと読む）

【課題】多ステップ研磨における前の工程が後の工程に負荷をかけることを防止することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨対象物上に形成された第１膜の大部分を研磨して除去する第１の研磨工程と、第１膜の残留部分を、配線部分を残して第２膜が表面に露出するまで研磨して除去する第２の研磨工程と、第１の研磨工程から第２の研磨工程に移行するときの第１膜の膜厚分布を予め設定する工程と、第１の研磨工程中に第１膜の厚さをうず電流センサにより測定して第１膜の膜厚分布を取得する工程と、取得された第１膜の膜厚分布が予め設定された第１膜の膜厚分布に一致するように第１の研磨工程における研磨条件を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線用凹部の内部に、内部にボイドを生じさせることなく、めっき金属をより高速で埋込むことができるようにする。
【解決手段】表面に配線用凹部を有する基板を用意し、促進剤、金属イオン及び酸を含む第１前処理液に基板を浸漬させて第１前処理を行い、第１前処理液に含まれる促進剤の効果を阻害する添加剤を含み且つ促進剤を含まない第２前処理液に基板を浸漬させて第２前処理を行い、しかる後、基板の表面に、少なくとも金属イオン、酸及び抑制剤を含み、促進剤を含まないめっき液を使用した電解めっきを行って、配線用凹部内にめっき金属を埋込む。 （もっと読む）

【課題】流体継手から排出される作動流体から排熱を回収することにより流体継手のすべり損失熱を回収し、回収された排熱（すべり損失熱）を発電のために利用することができる発電システムを提供する。
【解決手段】給水ポンプＢＰによりボイラ１に給水して蒸気を発生させ、発生した蒸気を用いて蒸気タービン２を駆動して発電し、蒸気タービン２から排出された蒸気を復水器４で復水させ復水を給水ポンプＢＰによりボイラ１に再供給するようにした発電システムにおいて、給水ポンプＢＰと給水ポンプＢＰを駆動する駆動機Ｍとの間に、羽根車室内を満たす作動流体を介してトルクを伝達する流体継手１０を設け、流体継手１０から排出される作動流体により復水器４から供給される復水を加熱するようにした。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の基板を効率よく乾燥させることができる基板乾燥装置を提供すること。
【解決手段】基板乾燥装置１は、基板Ｗを回転させる回転機構１０と、基板Ｗにリンス液流Ｒｆを供給するリンス液ノズル２０と、リンス液Ｒの表面張力を低下させる物質を含有する乾燥気体流Ｇｆを供給する乾燥気体ノズル３０と、リンス液ノズル２０及び乾燥気体ノズル３０を移動させる移動機構４０とを備える。乾燥気体流Ｇｆは、表面ＷＡを投影面とする投影面上において乾燥気体ノズル３０から吐出された位置よりも基板Ｗに衝突した位置の方がノズル移動方向Ｄｎの下流側に位置しつつ、三次元空間において乾燥気体流Ｇｆの軸線Ｇａと基板Ｗの垂線Ｗｐとのなす角αが接触角の半分の角度である半分接触角以上かつ９０°から半分接触角を差し引いた角度以下の範囲で傾斜するように、乾燥気体ノズル３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】潤滑液体の漏洩を防止しやすい構造で、始動トルクを低減するためのリフトポンプを備えたパッド型スラスト軸受、該パッド型スラスト軸受を用いた液中モータ、縦型液中モータポンプを提供すること。
【解決手段】軸受パッド４表面に潤滑液を加圧供給するリフトポンプ１２を備えたパッド型スラスト軸受であって、リフトポンプ１２の羽根車１２ａをスラスト軸受の軸受ハウジング１０内に設けた。また、リフトポンプ１２は、モータハウジング２２の一部が軸受ハウジング１０に挿入された状態で結合されている。 （もっと読む）