【課題】廃棄物や石炭等の可燃物から多量の可燃分を含む可燃ガスを高効率で生成し、生成された可燃ガスの自己熱量により燃焼灰を熔融することができる処理方法およびガス化及び熔融装置を提供する。
【解決手段】流動層炉２は、流動化ガスを供給する流動化ガス供給手段を備え、該廃棄物を流動層炉２に供給し、ガス化してガスとチャーを生成し、該熔融炉は流動層炉２より排出された該ガスと該チャーを供給して灰分を熔融し、流動層炉２は、傾斜する炉底と、該傾斜する炉底の低部に該廃棄物に含まれる不燃物と流動媒体を排出する不燃物排出口５を備え、不燃物排出口５の下方に該不燃物と該流動媒体を排出するシュート１６と、該不燃物と該流動媒体をシュート１６の下方から水平方向に定量排出する定量排出器１７を備え、該定量排出された不燃物と流動媒体を分別し、分別された流動媒体は流動層炉２に戻し、前記不燃物中の金属は未酸化で回収する。 （もっと読む）

【課題】埋込み配線の露出表面に、保護膜を選択性良く安定して形成して回収・配線を保護することができるようにする。
【解決手段】フィルタ３０５では取りきれない無電解めっき液中の微細な磁性浮遊物を磁気力によって除去する磁気除去部３５６，３６２を有し、これにより、無電解めっき液中の微細な磁性浮遊物が、例えば絶縁膜等の表面に付着して異常析出物が生じることを防止し、しかも無電解めっき液の性質を一定にしてめっき反応を安定させる。 （もっと読む）

【課題】中空糸膜の破損や疎水化によるフラックスの低下を低減することができる中空糸膜モジュールを提供する。
【解決手段】中空糸膜モジュール１は、複数本の中空糸膜１０を束ねた膜束２０と、膜束２０を収容する筒状体３０と、膜束２０の少なくとも１つの端部を筒状体３０に固定する固定部４０，５０と、原水を固定部４０の近傍から流出させる原水流出ノズル３４とを備えている。筒状体３０の内部に供給された原水は中空糸膜１０の外側から内側に透過される。ソフトポッティング部４２は、原水が接触する面に少なくとも１つの溝４３を有している。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】長期運転による能力の低下を抑制する吸収ヒートポンプを提供すること。
【解決手段】冷媒液Ｒを加熱して冷媒蒸気Ｒｅを発生させる蒸発器Ｅと、吸収溶液Ｌｓが蒸発器Ｅで発生した冷媒蒸気Ｒｅを吸収する際の吸収熱で被加熱媒体Ｗａを加熱する吸収器Ａと、蒸発器Ｅで発生した冷媒蒸気Ｒｅを吸収して濃度が低くなった希溶液Ｌｗを導入し加熱することにより、希溶液Ｌｗ中の冷媒を蒸発させて希溶液Ｌｗよりも高濃度の濃溶液Ｌｓを生成する再生器Ｇと、再生器Ｇで蒸発した冷媒蒸気Ｒｇを導入し凝縮させて蒸発器Ｅに供給する冷媒液Ｒを生成する凝縮器Ｃと、凝縮器Ｃ内の不凝縮ガスＮｃｇを抽気する抽気手段３１〜３７とを備える吸収ヒートポンプ１とすると、蒸発器Ｅ、吸収器Ａ、再生器Ｇ、凝縮器Ｃのうち最も圧力が低くなる凝縮器Ｃから抽気することとなり、ほとんどの不凝縮ガスＮｃｇを抽気することができる。 （もっと読む）

【課題】基板研磨中でも研磨定盤の研磨面を最適な状態に保つことができ、研磨面の削れが進んでも研磨面の面形状が変化しないで、且つ基板研磨中に研磨面の温度上昇を抑制し高い研磨レートの研磨が可能で、更に研磨定盤の研磨パッドを交換した後に、研磨パッドを実使用状態に速やかに近づけることができる研磨装置。
【解決手段】研磨定盤１０と、基板保持機構１２、ドレッサー３０を備え、基板保持機構１２で保持した研磨対象基板Ｗを研磨定盤１０の研磨面に接触押圧して、研磨する研磨装置であって、ドレッサー３０は第１ドレッシング部３１と第２ドレッシング部３２を備え、第１ドレッシング部３１は研磨対象基板Ｗよりも大きい円形状で、第２ドレッシング部３２は第１ドレッシング部３１の周りを囲む形状大きさであり、第１ドレッシング部３１と第２ドレッシング部３２が互いに独立して研磨面に接触できる。 （もっと読む）

【課題】空間電荷効果の影響を電子光学系の光路長を短くして、空間電荷の影響及び偏向収差の発生を低減する
【解決手段】電子銃１から放出された電子線は、マルチ開口２、縮小レンズ３、非分散のウィーンフィルタ５、タブレットレンズ１０、電磁偏向器１１、ビーム分離器１２及び対物レンズを構成するタブレットレンズ１７を介して試料１８上に縮小像を形成する。ビーム分離器１２は、２次電子ビームのビーム分離器１２内の通過距離が、１次電子ビームのビーム分離器１２内の通過距離の３倍程度となるよう構成されているため、ビーム分離器１２における磁界を、１次電子ビームを約１０度以下の小角度だけ偏向するように設定しても、２次電子ビームを約３０度以上偏向させることができ、１次及び２次電子ビームは十分に分離される。また、１次電子ビームを小角度だけ偏向することにより、１次電子ビームに生じる収差が小さい。 （もっと読む）

【課題】外部からのメカニカルシール接触面への給水の必要が無く、常にメカニカルシール接触面の潤滑と冷却が行えるポンプ、およびその軸封装置を提供する。
【解決手段】ポンプ主軸１３と、該主軸を軸封するメカニカルシール２１と、通常運転時にメカニカルシール２１の液側からメカニカルシール２１の接触面２１ｅを漏洩する漏洩液を貯留する補給液タンク２５とを備え、メカニカルシール２１の液側が気中となった時に、補給液タンク２５に貯留した前記漏洩液がメカニカルシール２１の接触面２１ｅを気中となった液側に漏洩する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールを搭載した水槽用覆蓋の強度の改善、設計の自由度の拡大、及び太陽電池モジュールの取付け取外し作業の改善。
【解決手段】少なくとも二本の平行なアーチ形状の桁状部材を備え、両端部の脚部材に取り付けられた走行車輪により、水槽を覆った状態で一定方向へ往復走行可能な覆蓋であって、前記桁状部材相互間へ当該桁状部材に対して直角でかつ所定の間隔に配置された多数の梁状部材を前記各桁状部材へ連結し、前記桁状部材相互と隣合う梁状部材とが形成する多数の方形の窓孔状部の全部又は一部には、当該窓孔状部を塞ぎかつ対応する梁状部材へ保持させた状態で方形の太陽電池モジュールを設置したこと特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微少流量の流体を脈動なく連続的かつ定量的に安定して移送することができるマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１は、内部に流体が流通される弾性チューブ１０と、弾性チューブ１０を支持するチューブサポート２０と、突起部３２が形成された回転体３０と、回転体３０を回転させるモータ４０とを備えている。突起部３２は、チューブサポート２０に支持される弾性チューブ１０を該弾性チューブ１０の長手方向に沿った複数の押圧点で押圧する。モータ４０は、複数の押圧点を弾性チューブ１０の長手方向に沿って移動させる。 （もっと読む）