Fターム[4K029]の内容
物理蒸着 (93,067)
Fターム[4K029]の下位に属するFターム
基体 (14,066)
被膜材質 (15,503)
被膜構造 (4,668)
被膜の性質 (4,709)
被膜の用途 (4,612)
被覆処理方法 (12,489)
処理装置一般 (2,443)
蒸着装置 (6,894)
スパッタリング装置 (13,207)
イオンプレーティング装置 (1,355)
イオン注入、イオンビームミキシング装置 (197)
測定、制御 (3,915)
前処理 (2,046)
後処理 (1,348)
部分被覆方法 (1,354)
基体支持 (2,291)
連続処理 (1,970)
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