Fターム[3B201CA00]の内容
液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 前処理 (102)
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Fターム[3B201CA00]に分類される特許
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付着灰除去方法
【課題】溶射皮膜が形成されたボイラ管に付着している付着灰を、溶射皮膜を痛めることなく効率的に除去することができる付着灰除去方法を提供する。
【解決手段】溶射材を吹き付けて溶射皮膜12が形成されたボイラ管10であって、ボイラ管10の表面に付着した付着灰14を除去する付着灰除去方法において、付着灰14が付着したボイラ管10に0.1P以上100P以下の粘度を有するゲル状組成物16を塗布する工程と、ゲル状組成物16を塗布する工程の後に、塗布したゲル状組成物16を付着灰14に浸透させた後、ボイラ管10に形成された溶射皮膜12から付着灰14を除去する工程とを備える。
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基板洗浄装置および基板洗浄装置を備えた基板供給装置
【課題】基板の表面がその一部または全体にわたって静電気を帯びていたとしても、基板の表面に付着した種々のごみや埃などを容易に洗浄することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板洗浄装置は、基板を移動自在に支持するフレームと該フレームに対して回転自在に取り付けられたロールブラシとが備えられ、前記基板の表面が前記ロールブラシで擦られて洗浄される基板洗浄装置であって、前記ロールブラシが導電性ブラシからなる。
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