【課題】処理液の流れ方向を自在に切替えることができ、かつ処理液の流れ方向を切替える際に、処理液の全体的な流量の変化や流れの不均一を生じさせることのないようにする。
【解決手段】処理槽２０に接続され、該処理槽２０内に方向が異なる処理液の流れが形成されるように切替えて使用される複数の入口配管２６ａ，２６ｂ及び出口配管２８ａ，２８ｂと、入口配管２６ａ，２６ｂ及び出口配管２８ａ．２８ｂを通して処理槽２０内に処理液を供給し循環させるポンプ３０を備え、入口配管２６ａ、２６ｂ及び出口配管２８ａ，２／８ｂには、切替えて使用される時に、内部を流れる処理液の流量が時間ととも変化するように制御部４８で制御される流量制御装置４４ａ，４４ｂ、４６ａ，４６ｂがそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】研磨装置の稼働率を低下させることなく渦電流センサの較正を行うことができ、精度の高い膜厚監視を可能とする研磨監視方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】回転する研磨テーブル１上の研磨面２ａに研磨対象の基板Ｗを押圧して基板Ｗ上の導電膜ｍｆを研磨し、研磨中に研磨テーブル１に設置された渦電流センサ５０により導電膜ｍｆの厚さを監視する研磨監視方法であって、研磨中の渦電流センサ５０の出力信号を取得し、渦電流センサ５０の上方に基板Ｗが存在しない時の出力信号を用いて渦電流センサ５０の出力調整量を算出し、出力調整量を用いて渦電流センサ５０の上方に基板Ｗが存在する時の出力信号を補正して基板Ｗ上の導電膜ｍｆの厚さを監視する。 （もっと読む）

【課題】基板の被処理面への光の照射による銅配線等のフォトコロージョンを防止し、しかも装置内の一部の処理ユニットのメンテナンス中においても、基板の処理枚数は減少するものの、光の照射による銅配線等のフォトコロージョンを防止した洗浄等の処理を行うことができるようにする。
【解決手段】遮光処理を施した複数の処理ユニット４０ａ，４０ｂ，４２ａ，４２ｂ，４４ａ，４４ｂを上下に配置して内部に収納する複数の処理エリア３０，３２，３４と、搬送機４６，４８を内部に収納して処理エリアの間に設置される搬送エリア３６，３８とを有し、処理エリアと搬送エリアとの間を遮光壁５０，５２で、搬送エリアの前面をメンテナンス用扉５４ｂ，５４ｄでそれぞれ遮光し、処理ユニットを遮光壁に遮光状態で連結した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小流量運転時に流体機械のケーシング内で生じていると予測される、好ましくない流動現象を改善し、性能（Ｑ−Ｈ）特性の右上がり不安定領域の低減を図る。
【解決手段】本発明の一実施携帯による流体機械は、回転駆動される羽根車（１０）と、羽根車（１０）を収容するケーシング（３）と、を有する。ケーシング（３）は、吐出管（５）へ流体を案内する舌部（３５）と、羽根車（１０）から軸方向に離間して羽根車（１０）に面する少なくとも１つの内側壁面（３１、３２）とを備える。羽根車（１０）とケーシング（３）の少なくとも１つの内側壁面（３１、３２）との間に流体流路（７）が画定される。かかる流体機械はさらに、流体流路（７）において発生し得る、流体機械の不安定動作を引き起こす渦の発生を抑制するために、ケーシング（３）の少なくとも１つの内側壁面（３１、３２）に、渦発生抑制構造（５０、５２）を有する。 （もっと読む）

【課題】電源等の外部動力源を必要とせず硫化水素の生成を抑制できるスラリー状の水酸化マグネシウムを汚水中に注入できるマンホールポンプ施設を提供する。
【解決手段】マンホール１０１内にマンホールポンプを備え、流入する汚水Ｗをマンホールポンプ１０２で圧送管１０７を通して圧送するマンホールポンプ装置１００と、硫化水素の生成を抑制するための水酸化マグネシウムを汚水中に注入する薬品注入装置２００を備え、薬品注入装置はスラリー状の水酸化マグネシウムＱを貯蔵する貯蔵タンク２０２と、貯蔵タンク内の水酸化マグネシウムを攪拌するスラリー攪拌手段と、貯蔵タンク内のスラリー状の水酸化マグネシウムの所定量を汚水Ｗ中へ注入するスラリー注入手段と、水酸化マグネシウムが注入された汚水を攪拌する汚水攪拌手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】内部にサイホンを形成するサイホン配管をポンプ吐出側に接続したポンプ設備において、維持管理性、経済性及び信頼性を向上させたポンプ設備を提供する。
【解決手段】内部にサイホンを形成するサイホン配管２０をポンプ１８の吐出側に接続したポンプ設備において、サイホン配管２０の頂部に配置される頂部配管３０に設けたサイホンブレーク用配管４０を頂部配管３０の内部に張出させ、該サイホンブレーク用配管４０の下端に空気流出部６４を取付けた。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の基板の研磨中に研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの表面（研磨面）の温度を制御することにより、ディッシングやエロージョン等を防止して段差特性の向上を図ることができるとともに研磨レートの向上を図ることができる研磨装置および方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド２に向けて気体を噴射する少なくとも１つの気体噴射ノズル２２と、少なくとも１つの気体噴射ノズル２２を保持するとともに気体噴射ノズル２２に気体を供給する気体供給部２０とを備え、少なくとも１つの気体噴射ノズル２２の直下の点Ｐ１，Ｐ２を通り、研磨パッド２の回転中心を中心とする同心円Ｃ１，Ｃ２を描き、同心円Ｃ１，Ｃ２上の直下の点Ｐ１，Ｐ２における接線方向を研磨パッド２の回転接線方向と定義すると、少なくとも１つの気体噴射ノズル２２の気体噴射方向は、回転接線方向に対して研磨パッド２の回転中心側に傾いている。 （もっと読む）

【課題】高価で高性能の降雪センサを用いることなく、検出エリアの狭い比較的価格の安い汎用型降雪センサを使って精度の高い判定ができ、節水、節電を行いながら、確実に融雪のできる融雪装置の運転制御装置を提供する。
【解決手段】散水配管４１、ポンプ（深井戸水中ポンプ５１）を備え、ポンプで水源部３００から揚水した水Ｗを散水ノズル４２から、降雪面４０に散水して融雪する融雪装置の運転制御装置であって、所定の水平面領域を通過する雪片をカウントする汎用型降雪センサ５と、カウントした雪片カウント数に基づいてポンプの運転制御を行うコントロール部１０２とを備えた融雪装置の運転制御装置において、コントロール部１０２は、ポンプの連続運転か間欠運転かを判断するのにポンプの運転時間の長短により、連続運転か間欠運転の判断となるしきい値（ＳＰ値）を変える。 （もっと読む）

【課題】内部にサイホンを形成するサイホン配管をポンプ吐出側に接続したポンプ設備において、維持管理性、経済性及び信頼性を向上させたポンプ設備を提供する。
【解決手段】内部にサイホンを形成するサイホン配管２０をポンプ１８の吐出側に接続したポンプ設備において、サイホン配管２０の頂部に配置される頂部配管７０の横断面積を流体の流れ方向に沿って増加させた。 （もっと読む）

【課題】融雪のための散水量の適正化、使用するポンプ容量（定格動力）に合わせて起動頻度を調整し、ポンプを劣化させることなく、同じ運転制御装置で複数種類のポンプに対応でき、且つ既設の融雪装置にも適用できる融雪装置の運転制御装置を提供する。
【解決手段】道路４０に埋設された散水配管４１、ポンプ２６を備え、ポンプ２６で水源４００から揚水した水を散水配管４１に送り、降雪面に散水して融雪する融雪装置の運転制御装置であって、降雪強度を検知する降雪強度センサ２００と、時計機能と、降雪強度センサ２００で検知した降雪強度に応じてポンプの時間当たりの駆動電力であるポンプ運転強度を制御すると共に、降雪強度が同じでも時計機能に基づく時間帯によりポンプ運転強度を増減させる運転制御手段１００とを備えた。 （もっと読む）