【課題】アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置１の生産性を高いレベルまで向上させつつ、薄膜の品質を高めること。
【解決手段】サイド壁１３の内壁面に、片側に吸収面５１ｆを有しかつ基板Ｗを冷却する一対の冷却パネル４７が垂直に配設され、サイド壁１３の内壁面における一対の冷却パネル４７の間に、両側に吸収面６３ｆをそれぞれ有しかつ基板Ｗを冷却する複数の中間冷却パネル５９が垂直に配設され、サイド壁１３をチャンバー本体７の一側面側に対して着脱すると、各冷却パネル４７が前端部側の基板エリアＡとフロント壁９又は後端部側の基板エリアＡとリア壁１１との間に対して進退すると共に、各中間冷却パネル５９が各隣接する基板エリアＡ間に対して進退するようになっていること。 （もっと読む）

【課題】長尺材の長手方向一方側をその他方側に影響を与えることなく曲げ加工することができる曲げ工具の提供。
【解決手段】長尺材１００を曲げ加工する曲げ工具１において、長尺材１００の短手方向一方側に位置する第１固定片１０と、長尺材１００の長手方向一方側において第１固定片１０と間隔をあけて、長尺材１００の短手向他方側に位置する第２固定片２０と、長尺材１００の長手方向一方側において第２固定片２０と間隔をあけて、長尺材１００の短手方向一方側に位置すると共に、第１固定片１０及び第２固定片２０と協働して長尺材１００に対して曲げ加重を与える可動片３０と、を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、摩耗ゲージを摩耗側部品へ安定的に固定するとともに、メンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】摩耗検知システム２００は、摩耗側部品１５２の摺動面１５２ａ側に開口を有する孔部２１０と、孔部２１０に挿入可能であり、摩耗側部品１５２の摩耗状態を検知する摩耗検知部１００と、摩耗検知部１００の先端部１３０が摩耗側部品１５２の摺動面１５２ａと面一となるように摩耗検知部１００を孔部２１０に固定する固定機構２５０とを備え、摩耗検知部１００は、導電性を有する材料で構成された１または複数の摩耗検知用ライン１１４を含んで構成され、摩耗検知用ライン１１４は摩耗側部品１５２の摩耗に伴って断線されるように配される。 （もっと読む）

【課題】管端部の加工部について、寸法精度と加工面の状態とを共に自動的に検査することができ、しかもインライン化が可能なよう検査装置全体のコンパクト化を可能にした、管端検査装置を提供する。
【解決手段】端部を加工した管２の管端加工部を検査する管端検査装置である。管端加工部の形状を計測するレーザ変位計４２と、管端加工部の表面を撮影する撮像装置６２と、レーザ変位計４２及び撮像装置６２を管端加工部の周方向に沿って移動させることにより、レーザ変位計４２のレーザビームスポット及び撮像装置６２の焦点を管端加工部の周方向に沿って周回させる回転テーブル（周回手段）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置およびチャック方法を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークＷを保持するチャック装置であって、ワークＷの鉛直上方に位置して当該ワークＷを非接触状態で吸引するベルヌーイチャック機構４と、当該ベルヌーイチャック機構４を挟んで水平面上に対向配置され、当該ベルヌーイチャック機構４による吸引力で浮上するとともに自重で撓んだワークＷの側縁Ｗ_２を挟持し、当該側縁Ｗ_２よりも中央部Ｗ_１が鉛直上方に位置する湾曲姿勢にワークＷを保持する一対の保持手段１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】長期間安定してロータの温度を監視する構成を安価に実現する。
【解決手段】電動機１００の製造方法は、ステータ１２０の内径より小さい外径を有し、その外周の一部に軸方向の切り欠きである切り欠き部３０２が形成された円柱状の成型治具３００と、切り欠き部より断面積が小さく温度を測定する温度測定部１２４とを、ステータの環の中に挿通する成型治具挿通工程Ｓ２０４と、成型治具とステータとの隙間に、固化前の固化材料を導入する導入工程Ｓ２０６と、固化材料が固化した後、成型治具をステータから抜出する抜出工程Ｓ２０８と、ロータを、ステータの環の中に挿通させるロータ挿通工程Ｓ２１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】２つのフィルタの取り付けに際し、構造を簡素化しながらもリークを低減することができるフィルタ取付構造およびフィルタ取付方法を提供する。
【解決手段】第１フィルタおよび第２フィルタを積層するとともに、両フィルタの周縁部のうち対向して位置する二辺の周縁部を、当該第１フィルタおよび第２フィルタが互いに圧接する方向に押し付けて両者を一体的に固定する一対のフィルタ押圧手段（１３、１５）と、フィルタ押圧手段によって一体化された第１フィルタおよび第２フィルタの周縁部のうち、一対のフィルタ押圧手段によって押圧されている二辺と異なる二辺の周縁部を圧接状態で筐体２に固定するフィルタ固定手段４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シールドガスの充填頻度を低く抑え、メンテナンスのコストの低減化を可能した、低温タンクのガス検知システムを提供する。
【解決手段】低温液化ガスを貯留した内槽２と、内槽を覆う外槽３とを有し、内槽２と外槽３との間に保冷剤とシールドガスとを充填して保冷層４とした低温タンク１の、内槽３からの低温液化ガスＬＧの漏洩を検知する低温タンクのガス検知システムである。保冷層４よりガスをサンプリングして赤外分光式センサまたは気体熱伝導式センサを備えたガス検知部１２に導入し、低温液化ガス漏洩の有無を検知する工程と、ガス検知部１２に導入したサンプリングガスの全量を、保冷層４に返送する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】合成床版の検査工程において、作業者の感覚に頼らずに、合成床版の底鋼板とコンクリートとの界面全体に占める欠陥面積の割合を高い精度で算出し得る合成構造体の欠陥面積率算出装置及び欠陥面積率算出方法を提供する。
【解決手段】サイズの異なる複数の模擬欠陥が配置された模造体に、低周波超音波を送受信して複数の模擬欠陥それぞれに対応するエコー高さを測定してマスタカーブＭＣを作成すると共に、マスタカーブＭＣ上のエコー高さが一定になるポイントから低周波超音波のビームサイズＢを算出した後、合成床版Ｗ上の複数の測定箇所における低周波超音波の各送受信により得られる各エコー高さをマスタカーブＭＣに当て嵌めて、測定箇所の欠陥サイズを算出して、低周波超音波のビームサイズＢに対する測定箇所の欠陥サイズの比をもって該測定箇所の欠陥面積率とし、全ての測定箇所の欠陥面積率の平均値を測定範囲全体の欠陥面積率とする。 （もっと読む）

【課題】平面部及びエッジ部ともに加工精度が高い電解加工装置及び電解加工方法を提供する。
【解決手段】所定位置で固定された平面形状の被加工金属の両面に対向するとともに、被加工金属の各面との距離が変更可能に設置される一対の第１電極１０Ａと、被加工金属を陽極とし、第１電極１０Ａを陰極として電圧を印加する第１電圧印加部１１Ａと、電圧が印加された第１電極１０Ａと被加工金属との間に電解液が流れるように、電解液を送出する第１送出部１６と、第１電圧印加部１１Ａによる電圧の印加で加工された被加工金属の端部であるエッジに対向するとともに、固定される被加工金属の各エッジとの距離が変更可能に設置される一対の第２電極１０Ｂと、被加工金属を陽極とし、第２電極１０Ｂを陰極として電圧を印加する第２電圧印加部と、電圧が印加された第２電極１０Ｂと被加工金属との間に電解液が流れるように、電解液を送出する第２送出部１６とを備える。 （もっと読む）